Barsten yn sputterdoelen komme normaal foar yn keramyske sputterdoelen lykas oksides, karbiden, nitriden en brosse materialen lykas chromium, antymoan, bismut.Lit no de technyske saakkundigen fan RSM útlizze wêrom't it sputterende doel kraakt en hokker previntive maatregels kinne wurde nommen om te foarkommen ...
Lês mear