Sputtered doelmaterialen hawwe hege easken tidens gebrûk, net allinich foar suverens en partikelgrutte, mar ek foar unifoarme partikelgrutte.Dizze hege easken meitsje ús mear omtinken by it brûken fan sputterende doelmaterialen.
1. Sputtering tarieding
It is heul wichtich om de skjinens fan 'e fakuümkeamer te behâlden, benammen it sputtersysteem.Smeermiddelen, stof, en alle oerbliuwsels fan eardere coatings kinne fersmoarging sammelje lykas wetter, direkt beynfloedzje it fakuüm en it fergrutsjen fan de kâns op filmfoarming mislearjen.Koarte circuits, arcing fan doelen, rûge filmfoarmjende oerflakken, en oermjittige gemyske ûnreinheden wurde normaal feroarsake troch ûnreine sputterkeamers, gewearen en doelen.
Om de komposysje skaaimerken fan 'e coating te behâlden, moat it sputtergas (argon of soerstof) skjin en droech wêze.Nei it ynstallearjen fan it substraat yn 'e sputterkeamer, moat lucht útlutsen wurde om it fereaske fakuümnivo foar it proses te berikken.
2. Doel skjinmeitsjen
It doel fan doelreiniging is om stof of smoargens te ferwiderjen dat kin bestean op it oerflak fan it doel.
3. Doel ynstallaasje
It wichtichste ding om omtinken te jaan by it ynstallaasjeproses fan it doelmateriaal is om in goede thermyske ferbining te garandearjen tusken it doelmateriaal en de koelmuorre fan it sputterpistoal.As de koeling muorre of efterplaat is slim warped, it kin feroarsaakje cracking of bûgen by de ynstallaasje fan it doel materiaal.De waarmte-oerdracht fan it efterste doel nei it doelmateriaal sil sterk beynfloede wurde, wat resulteart yn 'e ûnfermogen om waarmte te fersprieden by it sputterjen, wat úteinlik liedt ta kraken of ôfwiking fan it doelmateriaal.
4. Koartsluting en sealing ynspeksje
Nei de ynstallaasje fan it doel materiaal is it nedich om te kontrolearjen de koartsluting en sealing fan de hiele kathode.It is oan te rieden om in ohmmeter en in megohmmeter te brûken om te bepalen as de katode koartsluten is.Nei't befêstige is dat de katode net koartsluten is, kin in lekdeteksje útfierd wurde troch wetter yn 'e kathode te ynjeksje om te bepalen oft der lek is.
5. Doelmateriaal pre sputtering
It is oan te rieden om suver argongas te brûken foar pre-sputtering fan it doelmateriaal, dat it oerflak fan it doelmateriaal kin skjinmeitsje.It wurdt oanrikkemandearre om de sputterkrêft stadichoan te ferheegjen tidens it pre-sputterproses foar it doelmateriaal.De krêft fan it keramyske doelmateriaal
Post tiid: Oct-19-2023