It doelmateriaal dat brûkt wurdt yn 'e data-opslachsektor fereasket hege suverens, en ûnreinheden en poarjes moatte minimaal wurde om de generaasje fan ûnreinheidsdieltsjes by sputterjen te foarkommen.It doelmateriaal dat wurdt brûkt foar produkten fan hege kwaliteit fereasket dat syn kristalpartikelgrutte lyts en unifoarm moat wêze en gjin kristaloriïntaasje hawwe.Litte wy hjirûnder sjen nei de easken fan 'e optyske opslachsektor foar it doelmateriaal?
1. Reinheid
Yn praktyske tapassingen ferskilt de suverens fan doelmaterialen neffens ferskate yndustry en easken.Lykwols, oer it algemien, hoe heger de suverens fan it doelmateriaal, hoe better de prestaasjes fan 'e sputtered film.Bygelyks, yn 'e optyske opslachsektor is de suverens fan it doelmateriaal ferplicht grutter dan 3N5 of 4N
2. Unreinens ynhâld
It doelmateriaal tsjinnet as de kathodeboarne by sputterjen, en ûnreinheden yn 'e fêste en soerstof en wetterdamp yn' e poaren binne de wichtichste boarnen foar fersmoarging foar it dellizzen fan tinne films.Derneist binne d'r spesjale easken foar doelen fan ferskate gebrûk.Troch de optyske opslachsektor as foarbyld te nimmen, moat de ynhâld fan ûnreinheden yn sputterdoelen heul leech wurde kontrolearre om de kwaliteit fan 'e coating te garandearjen.
3. Grain grutte en grutte ferdieling
Gewoanlik hat it doelmateriaal in polykristalline struktuer, mei korrelgrutte fariearjend fan mikrometer oant millimeter.Foar doelen mei deselde gearstalling is de sputterfrekwinsje fan fynkerndoelen flugger dan dy fan grouwe nôtdoelen.Foar doelen mei lytsere korrelgrutte ferskillen sil de ôfset filmdikte ek mear unifoarm wêze.
4. Kompaktens
Om de porositeit yn it fêste doelmateriaal te ferminderjen en filmprestaasjes te ferbetterjen, is it oer it generaal ferplicht dat it sputterende doelmateriaal in hege tichtheid hat.De tichtens fan it doelmateriaal hinget benammen ôf fan it tariedingsproses.It doelmateriaal produsearre troch smelt- en castmetoade kin derfoar soargje dat d'r gjin poaren binne yn it doelmateriaal en de tichtheid is heul heech.
Post tiid: Jul-18-2023