In protte freonen oer it ûnderhâld fan it doel binne d'r mear of minder fragen, koartlyn binne d'r ek in protte klanten rieplachtsje oer it ûnderhâld fan 'e doel relatearre problemen, lit redakteur fan RSM foar ús te dielen oer sputterjen fan doelûnderhâldkennis .
Hoe moatte sputterdoelen bewarre wurde?
1, Doelûnderhâld
Om foar te kommen koartsluting en arcing feroarsake troch ûnreine holte yn it sputtering proses, is it nedich om periodyk fuortsmite de sputters sammele yn 'e midden en beide kanten fan' e sputtering spoar, dy't ek helpt brûkers om kontinu sputter by hege macht tichtheid.
2, Doel opslach
Wy riede oan dat brûkers it doel (of metaal as keramyk) opslaan yn fakuümferpakking, benammen it passende doel moat yn fakuüm opslein wurde om te foarkommen dat de oksidaasje fan 'e passende laach de passende kwaliteit beynfloedet.Wat de ferpakking fan metalen doelen oanbelanget, suggerearje wy dat se op syn minst yn skjinne plestik sekken moatte wurde ferpakt.
3, Doelreiniging
De earste stap is om skjin te meitsjen mei in lintfrije sêfte doek dy't yn aceton wiet is;
De twadde stap is fergelykber mei de earste stap, skjinmeitsjen mei alkohol;
Stap 3: skjin mei deionisearre wetter.Nei skjinmeitsjen mei deionisearre wetter wurdt it doel yn 'e oven pleatst en 30 minuten op 100 ℃ droege.It wurdt suggerearre om "pluisfrije doek" te brûken om okside- en keramyske doelen skjin te meitsjen.
De fjirde stap is om it doel te waskjen mei argon mei hege druk en lege fochtigens om alle ûnreine dieltsjes te ferwiderjen dy't in bôge yn it sputtersysteem kinne feroarsaakje.
4、 Koartesluting en strakheidskontrôle
Neidat it doel is ynstallearre, de hiele kathode moat wurde kontrolearre foar koartsluting en tightness.It is oan te rieden om te beoardieljen oft der in koartsluting yn 'e kathode mei help fan in ferset meter en in megger.Nei it befêstigjen dat der gjin koartsluting yn 'e kathode is, kin wetterlekkage ynspeksje wurde útfierd, en wetter kin yn' e kathode ynfierd wurde om te bepalen oft der wetterlek is.
5、 Ferpakking en ferfier
Alle doelen wurde ynpakt yn fakuüm fersegele plestik sekken mei fochtbestindige agent.De bûtenste pakket is oer it generaal houten doaze mei anty-botsing laach om te beskermjen it doel en backplane út skea tidens ferfier en opslach.
Post tiid: Jul-15-2022