Wy moatte no heul bekend wêze mei it doel, no nimt de doelmerk ek ta, it folgjende is wat de haadprestaasje is fan sputterende doel dield troch bewurker fan RSM
De suverens
Suverens fan doelmateriaal is ien fan 'e wichtichste prestaasjesyndeksen, om't de suverens fan doelmateriaal in grutte ynfloed hat op 'e prestaasjes fan tinne film.Yn praktyske tapassing binne de suverenseasken fan doelmaterialen lykwols net itselde.Bygelyks, mei de rappe ûntwikkeling fan 'e mikro-elektroanyske yndustry, is de silisiumchipgrutte ûntwikkele fan 6 ", 8" nei 12 ", en de wiringbreedte is fermindere fan 0.5um nei 0.25um, 0.18um of sels 0.13um.Earder kin de suverens fan 99.995% doelmateriaal foldwaan oan de proseseasken fan 0.35umIC.De suverens fan it doelmateriaal is 99.999% of sels 99.9999% foar de tarieding fan 0.18um rigels.
Unreinens ynhâld
De ûnreinheden yn it doelfêst en de soerstof en wetterdamp yn 'e poaren binne de wichtichste boarnen fan fersmoarging fan filmôfsetting.Doelmaterialen foar ferskate doelen hawwe ferskillende easken foar ferskate ûnreinensynhâld.Bygelyks, suvere aluminium en aluminium alloy doelen brûkt yn semiconductor yndustry hawwe spesjale easken foar de ynhâld fan alkalimetalen en radioaktive eleminten.
De tichtens
Om de porositeit yn 'e fêste doelgroep te ferminderjen en de prestaasjes fan' e sputterfilm te ferbetterjen, is hege tichtheid fan 'e doel meastentiids nedich.De tichtens fan it doel beynfloedet net allinich de sputteringsnivo, mar ek de elektryske en optyske eigenskippen fan 'e film.Hoe heger de doelstichtens, hoe better de filmprestaasje.Derneist makket it fergrutsjen fan de tichtens en sterkte fan it doel it doel better tsjin de termyske stress yn it sputterproses.Tichtheid is ek ien fan 'e wichtichste prestaasje-yndeksen fan doel.
Korrelgrutte en nôtgrutte ferdieling
It doel is normaal polykristallijn mei korrelgrutte fariearjend fan mikrometer oant millimeter.Foar itselde doel is de sputterrate fan it doel mei lytse korrels flugger as dy fan it doel mei grutte korrels.De dikte ferdieling fan de films dellein troch sputtering doel mei lytsere korrel grutte ferskil (unifoarme ferdieling) is mear unifoarm.
Post tiid: Aug-04-2022