Sputtered molybdenum-doelen binne in protte brûkt yn 'e elektroanika-yndustry, sinnesellen, glêscoating, en oare fjilden fanwegen har ynherinte foardielen.Mei de rappe ûntwikkeling fan moderne technology yn miniaturisaasje, yntegraasje, digitalisearring en yntelliginsje sil it gebrûk fan molybdenumdoelen trochgean te ferheegjen, en de kwaliteitseasken foar har sille ek hieltyd heger wurde.Dat wy moatte manieren fine om it gebrûksnivo fan molybdenumdoelen te ferbetterjen.No sil de bewurker fan RSM ferskate metoaden yntrodusearje om it gebrûksnivo fan sputterende molybdeendoelen foar elkenien te ferbetterjen
1. Add elektromagnetyske coil op 'e omkearde kant
Om it gebrûksnivo fan it sputtered molybdenumdoel te ferbetterjen, kin in elektromagnetyske spoel tafoege wurde oan 'e efterkant fan' e planêre Magnetron-sputterende molybdenumdoel, en it magnetysk fjild op it oerflak fan 'e molybdenumdoel kin wurde ferhege troch de stroom te ferheegjen fan de elektromagnetyske spoel, om it gebrûksnivo fan it molybdenumdoel te ferbetterjen.
2. Selektearje tubular rotearjend doel materiaal
Yn ferliking mei platte doelen markeart it kiezen fan in buisfoarmige rotearjende doelstruktuer syn ynhâldlike foardielen.Yn 't algemien is it gebrûksnivo fan platte doelen mar 30% oant 50%, wylst it gebrûksnivo fan tubulêre rotearjende doelen mear dan 80% kin berikke.Boppedat, by it brûken fan de rotearjende holle buis Magnetron sputtering doel, sûnt it doel kin draaie om de fêste bar magneet gearstalling hiele tiid, der sil gjin redeposition op syn oerflak, dus it libben fan it draaiende doel is oer it algemien mear as 5 kear langer dan dat fan it fleantúchdoel.
3. Ferfange mei nije sputtering apparatuer
De kaai foar it ferbetterjen fan it gebrûksnivo fan doelmaterialen is de ferfanging fan sputterapparatuer te foltôgjen.Tidens it sputterproses fan molybdenum sputtering doelmateriaal sil sa'n sechsde fan 'e sputterende atomen deponearje op' e fakuümkammermuorre as beugel nei't se rekke binne troch wetterstofionen, wêrtroch't de kosten foar it skjinmeitsjen fan 'e fakuümapparatuer en downtime ferheegje.Dat it ferfangen fan nije sputterapparatuer kin ek helpe om it gebrûksnivo fan sputterende molybdenumdoelen te ferbetterjen.
Post tiid: mei-24-2023