Op it stuit binne hast alle hege-ein ultra-hege suverens metaal koper doelen easke troch de IC yndustry monopolisearre troch ferskate grutte bûtenlânske multynasjonale bedriuwen.Alle ultrapure koperdoelen dy't nedich binne troch de ynlânske IC-yndustry moatte ymporteare wurde, wat net allinich djoer is, mar ek yngewikkeld yn ymportprosedueres. .Litte wy ris sjen nei de wichtichste punten en swierrichheden yn 'e ûntwikkeling fan ultra-hege suverens (6N) koper sputterdoelen.
1,Untwikkeling fan materialen mei ultra hege suverens
De suvering technology fan hege suverens Cu, Al en Ta metalen yn Sina is fier fan dy yn yndustriële ûntwikkele lannen.Op it stuit kinne de measte metalen mei hege suverens dy't kinne wurde levere, net foldogge oan de kwaliteitseasken fan yntegreare circuits foar sputterdoelen neffens de konvinsjonele metoaden foar alle elemintanalyse yn 'e sektor.It oantal ynklúzjes yn it doel is te heech of ûngelyk ferdield.Partikels wurde faak foarme op 'e wafel ûnder sputtering, resultearret yn koartsluting of iepen circuit fan interconnect, dy't serieus beynfloedet de prestaasjes fan de film.
2,Untwikkeling fan technology foar tarieding fan koper sputtering doelwit
De ûntwikkeling fan technology foar tarieding fan koper sputtering doelen rjochtet him benammen op trije aspekten: korrelgrutte, oriïntaasjekontrôle en uniformiteit.De semiconductor yndustry hat de alderheechste easken oan steld foar sputtering doelen en evaporating grûnstoffen.It hat heul strange easken foar de kontrôle fan 'e oerflakkorrelgrutte en kristaloriïntaasje fan it doel.De korrelgrutte fan it doel moat wurde kontrolearre op 100μ M hjirûnder, dêrom, de kontrôle fan nôtgrutte en de middels fan korrelaasje analyze en detectie binne tige wichtich foar de ûntwikkeling fan metalen doelen.
3,Untwikkeling fan analyze entesten technology
De hege suverens fan it doel betsjut it ferminderjen fan ûnreinheden.Yn it ferline waarden induktyf keppele plasma (ICP) en atoomabsorptionsspektrometry brûkt om ûnreinheden te bepalen, mar yn 'e ôfrûne jierren is glow-ûntladingskwaliteitsanalyse (GDMS) mei hegere gefoelichheid stadichoan brûkt as de standert metoade.De metoade foar restresistinsjeferhâlding RRR wurdt benammen brûkt foar it bepalen fan elektryske suverens.It prinsipe fan it fêststellen is om de suverens fan basismetaal te evaluearjen troch de mjitte fan elektroanyske fersprieding fan ûnreinheden te mjitten.Om't it is om de wjerstân te mjitten by keamertemperatuer en heul lege temperatuer, is it ienfâldich om it nûmer te nimmen.De lêste jierren, om de essinsje fan metalen te ferkennen, is it ûndersyk nei ultra-hege suverens tige aktyf.Yn dit gefal is RRR-wearde de bêste manier om de suverens te evaluearjen.
Post tiid: mei-06-2022