Yn 'e ôfrûne jierren, mei de foarútgong fan technology foar yntegreare circuits (IC), binne de relatearre tapassingen fan yntegreare circuits rap ûntwikkele.Ultra hege suverens sputterdoel fan aluminiumlegering, as stypjend materiaal yn 'e fabrikaazje fan yntegreare sirkwy metalen interconnects, is in hyt ûnderwerp wurden yn resint ynlânske ûndersyk.de bewurker fan RSM sil sjen litte ús de skaaimerken fan hege suverens aluminium alloy sputtering doel.
Om fierder te ferbetterjen de sputtering effisjinsje fan magnetron sputtering doel en soargje foar de kwaliteit fan ôfset films, in grut oantal eksperiminten litte sjen dat der binne bepaalde easken foar de gearstalling, mikrostruktuer en nôt oriïntaasje fan ultra-hege suverens aluminium alloy sputtering doel.
De korrelgrutte en nôtoriïntaasje fan it doel hawwe grutte ynfloed op 'e tarieding en eigenskippen fan IC-films.De resultaten litte sjen dat de ôfsettingssnelheid ôfnimt mei de tanimming fan nôtgrutte;Foar de sputtering doel mei deselde gearstalling, de sputtering taryf fan it doel mei lytse korrel grutte is flugger as dy fan it doel mei grutte korrel grutte;Hoe unifoarmer de nôtgrutte fan it doel, hoe unifoarmer de dikteferdieling fan de ôfset films.
Under deselde sputtering ynstrumint en proses parameters, de sputtering taryf fan Al Cu alloy doel tanimt mei de tanimming fan atomic tichtens, mar it is oer it algemien stabyl yn in berik.It effekt fan nôt grutte op sputtering taryf komt troch de feroaring fan atomic tichtens mei de feroaring fan nôt grutte;De deposition taryf wurdt benammen beynfloede troch de nôt oriïntaasje fan Al Cu alloy doel.Op basis fan it garandearjen fan it oanpart fan (200) kristalfleantugen, sil de tanimming fan it oanpart fan (111), (220) en (311) kristalfleantugen de ôfsettingsrate ferheegje.
De nôtgrutte en nôtoriïntaasje fan doelen fan ultra-hege suverens fan aluminiumlegering wurde benammen oanpast en kontroleare troch ingothomogenisaasje, hjitte wurkjen en rekristallisaasje-gloeijen.Mei de ûntwikkeling fan wafergrutte nei 20.32cm (8in) en 30.48cm (12in), nimt de doelgrutte ek ta, wat hegere easken stelt foar sputterdoelen fan ultra-hege suverens fan aluminiumlegering.Om de filmkwaliteit en opbringst te garandearjen, moatte de doelferwurkingsparameters strikt wurde kontroleare om de doelmikrostruktuer unifoarm te meitsjen en de nôtoriïntaasje moat sterke (200) en (220) fleantúchtekstueren hawwe.
Post tiid: Jun-30-2022