Lykas wy allegear witte, binne d'r in protte spesifikaasjes fan sputterdoelen, en har tapassingsfjilden binne ek heul breed.De soarten doelen dy't gewoanlik brûkt wurde yn ferskate fjilden binne ek oars.Litte wy hjoed leare oer de klassifikaasje fan sputterende doelapplikaasjefjilden mei de bewurker fan RSM!
1, Definysje fan sputterdoel
Sputtering is ien fan 'e wichtichste technologyen foar it tarieden fan tinne filmmaterialen.It brûkt de ionen produsearre troch de ionboarne om te fersnellen en te sammeljen yn fakuüm om in hege snelheid ionbeam te foarmjen, it fêste oerflak te bombardearjen, en de ioanen wikselje kinetyske enerzjy út mei de atomen op it fêste oerflak, sadat de atomen op it fêste oerflak oerflak wurde skieden fan de fêste en dellein op it substraat oerflak.De bombardearre fêste stof is it grûnstof foar it tarieden fan de tinne film ôfset troch sputtering, wat sputterdoel neamd wurdt.
2、 Klassifikaasje fan tapassingsfjilden foar sputteringdoelen
1. Semiconductor doel
(1) Mienskiplike doelen: mienskiplike doelen op dit fjild omfetsje metalen mei hege smeltpunt lykas tantaal / koper / titanium / aluminium / goud / nikkel.
(2) Gebrûk: benammen brûkt as wichtige grûnstoffen foar yntegreare circuits.
(3) Prestaasjeeasken: hege technyske easken foar suverens, grutte, yntegraasje, ensfh.
2. Doel foar flat paniel werjefte
(1) Algemiene doelen: mienskiplike doelen op dit fjild omfetsje aluminium / koper / molybdenum / nikkel / niobium / silisium / chromium, ensfh.
(2) Gebrûk: dit soarte doel wurdt meast brûkt foar ferskate soarten films mei grut gebiet lykas tv's en notebooks.
(3) Prestaasjeeasken: hege easken foar suverens, grut gebiet, uniformiteit, ensfh.
3. Doelmateriaal foar sinnesel
(1) Mienskiplike doelen: aluminium / koper / molybdenum / chromium / ITO / Ta en oare doelen foar sinnesellen.
(2) Usage: benammen brûkt yn "finster laach", barriêre laach, elektrodes en conductive film.
(3) Prestaasje easken: hege technyske easken en breed applikaasje berik.
4. Doel foar ynformaasje opslach
(1) Mienskiplike doelen: mienskiplike doelen fan kobalt / nikkel / ferrolegering / chromium / tellurium / selenium en oare materialen foar opslach fan ynformaasje.
(2) Gebrûk: dit soarte fan doelmateriaal wurdt benammen brûkt foar de magnetyske kop, middelste laach en ûnderlaach fan optyske ryd en optyske skiif.
(3) Prestaasjeeasken: hege opslachdichte en hege oerdrachtsnelheid binne fereaske.
5. Doel foar ark modifikaasje
(1) Mienskiplike doelen: mienskiplike doelen lykas titanium / zirconium / chromium aluminiumlegering oanpast troch ark.
(2) Gebrûk: meast brûkt foar oerflakfersterking.
(3) Prestaasje easken: hege prestaasjes easken en lange libbensdoer.
6. Doelen foar elektroanyske apparaten
(1) Mienskiplike doelen: mienskiplike doelen fan aluminiumlegering / silicide foar elektroanyske apparaten
(2) Doel: algemien brûkt foar tinne film wjerstannen en capacitors.
(3) Performance easken: lytse grutte, stabiliteit, lege ferset temperatuer koëffisjint
Post tiid: Jul-27-2022