Technyske adviseur fan RSM sil diele mei jo de foardielen fan silindryske en planar magnetron sputtering doelen?Yn ferliking mei oare magnetron sputtering doelen, silindryske en plane magnetron sputtering doelen behâlde de foardielen fan goede coating uniformiteit fan rjochthoekige planar doelen, en kinne maksimalisearje it brûken fan doelen fia de folgjende twa manieren:
(1) As de twa groepen (fjouwer) fan ringfoarmige pits op it oerflak fan it doel in bepaalde djipte berikke, kin de doelkearn (magneetdiel) 45 ° draaid wurde relatyf oan 'e doelbuis, sadat oare gebieten op 'e doelbuis dy't net korrodearre binne kinne brûkt wurde;
(2) As de doelkearn fan it silindryske en planêre magnetron-sputteringsdoel is ûntwurpen as in rotearjende doelkearn (de doelkearn draait by it sputterjen), kin it oerflak fan it doel laach foar laach sûnder pits even sputtered wurde.Op dit stuit sil it doel it meast effektyf brûkt wurde, en it gebrûksnivo fan it doel kin 50% ~ 60% berikke. As it doelmateriaal edelmetaal is, is dit fansels fan grutte betsjutting.
Troch it brûken fan it prinsipe fan magneet mei pole shoe yn koaksiale silindryske magnetron sputtering doel te lossen it probleem fan ein magnetysk fjild, de rjochthoekige fleantúch doel kin wurde omfoarme ta in silindryske en planar magnetron sputtering doel, It doel kin maksimalisearje it benutten taryf fan it doel wylst it hâlden fan de goede coating uniformiteit fan it rjochthoekige fleantúch doel Sa as te ferbetterjen ekonomyske foardielen.
Post tiid: Jul-04-2022